Plazas, SergioEspinosa Díaz, David RicardoRiveros Cruz, Diego Alexander2021-10-292021-10-292015https://repositorio.ecci.edu.co/handle/001/1871Una visión general de las técnicas de micromecanizado de superficie donde se describen las principales aplicaciones. La tecnología de capa de sacrificio para la fabricación de estructuras de película delgada (por ejemplo, de polisilicio) bajo el grabado lateral de una capa independiente de sacrificio subyacente (por ejemplo, dióxido de silicio) se discute en detalle. Otro enfoque tecnológico utiliza la combinación de medidas estándar de procesamiento de IC con grabado de cristal de orientación dependiente de la superficie del sustrato de silicio para la construcción de microestructuras multicapa exentas. Una tercera superficie de micromecanizado se basa en la técnica de grabado de plasma isotrópico del silicio sustrato para la realización de estructuras micromecánicas en la superficie 33 de la oblea. lA particularidad común de las estructuras micromecánicas fabricadas por ellos, tres técnicas es la viabilidad de su integración con componentes de CI en la mismo chip El estado de la técnica de microestructuras realizadas por la tecnología de capa de sacrificio se ilustra mediante varios ejemplos, tales como actuadores de peine. micromotores. interruptores, resonadores y microcavidades.1. PRELIMINARES 1.1. EL PROBLEMA DE INVESTIGACIÓN 1.1.1. Descripción del problema 1.1.2. Formulación del problema 1.2. OBJETIVOS 1.2.1. Objetivo general 1.2.2. Objetivos específicos 1.3. JUSTIFICACIÓN Y DELIMITACIÓN DE LA INVESTIGACIÓN 1.3.1. Justificación 1.3.2. Delimitación 1.4 diseño metodologico 2. MARCO REFERENCIAL 2.1. Marco histórico 2.1.1. Origenes conceptuales 2.1.2. E. Erik Drexler 2.1.3. Norio Taniguchi 2.1.4. Avances experimentales 2.1.5. Invencion del microscopio del efecto tunel 2.1.6. Avances en ciencias interfaciales y de coloides 2.2. Marco teórico 2.2.1. Mecanizado sin arranque de viruta 2.2.2. Mecanizado por abrasión 2.2.3. Mecanizado por arranque de viruta 2.2.4. Movimientos de corte 2.2.5. Mecanizado manual 2.2.6. Mecanizado con máquina-herramienta 2.3. MICROMECANIZADO EN LATINOAMERICA Y COLOMBIA 2.3.1. Contribuciones regionales al desarrollo de la Nanotecnología 2.3.2. Investigadores Destacados 2.3.3. Por qué el futuro no nos necesita 2.3.4. Reporte de la Royal Society sobre las implicaciones de la nanotecnología 2.3.5. Aplicaciones comerciales iniciales 3. RESULTADOS 3.1. MICROMAQUINADO SUPERFICIE (SURFACE MICROMACHINING)AUTORES: C LINDER, L PARATTE, M-A GRETILLAT, V P JAECKLIN AND N F DE ROOIJ 3.1.1. INTRODUCCIÓN 3 3.1.2. Las técnicas para microestructuras superficiales 3.1.3. Tecnología de capa de sacrificio 3.1.4. Micromecanizado en superficie 3.1.5. Grabado por plasma isotrópico 3.1.6. Aplicaciones 3.1.7. Motores paso a paso electrostáticos integrados 3.1.8. Interruptores electromecánicos 3.1.9. Resonadores con excitación y detección integrada 3.2 MICROMAQUINADO SUPERFICIE (SURFACE MICROMACHINING).AUTOR: ROBERT BOSCH GMBH 3.2.1. Micromaquinado base de silicio policristalino 3.2.2. Capa de sacrificio 3.2.3. Superficie micromaquinado aplicación-acelerómetro 3.2.4. Conceptos de integración 3.2.5. Giroscopios 3.2.6. Propiedades importantes de metales en aplicaciones mems 3.2.7. Coeficiente de expansión térmica 3.2.8. Tecnología 3.2.9. Campos de aplicación 3.3. MICROFRESADO DE POLIMEROS BIOCOMPATIBLES (POLYMER MICRO-MILLING BIOCOMPATIBLES).autor: CHRISTINA LEINENBACH HANNU KATTELUS ROY KNECHTEL 3.3.1. Resumen 3.3.2. Introducción 3.3.3. Clasificación general de las técnicas de microfabricación 3.3.4. Micromecanizado (microfresado) 3.3.5. Metodología 3.3.6. Proceso de microfresado 3.3.7. Ajuste de parámetros de corte 3.3.8. Resultados 3.3.9. Microherramientas 4. ANALISIS, CONCLUSIONES Y RECOMENDACIONES REFERENCIAS87 p.application/pdfspaDerechos Reservados - Universidad ECCI, 2015Trabajo de grado - Pregradoinfo:eu-repo/semantics/openAccessFabricaciónMatriz poliméricaMicromecanizadoManufacturingPolymer matrixMicromachininghttp://purl.org/coar/access_right/c_abf2